.Net で File.Create() メソッドを使うと簡単にファイルの作成ができます。
しかし、上記MSDNにあるように、元のファイルのハンドルが閉じられるまで、作成されたファイルに他のプロセスやコードからアクセスすることはできないので、ハンドルを閉じてやる必要があります。
こんな感じです。
FileStream fs = File.Create(Path.Combine(@"c:\test","test.txt"));
fs.Close();
ただ単に空ファイルを作るだけなら下記のようにもできます。
File.Create(Path.Combine(@"c:\test","test.txt")).Close();
余談ですが、Path.Combine ってパスを作成するときに便利ですね。
参考: